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如何利用X射線能譜進行微區元素分析?應用案例分享

點擊次數:33 更新時間:2026-03-25

   廣電計量提供覆蓋Si、SiN、LiNbO?等材料體系的硅光芯片全流程測試服務,功能單元包含硅光芯片、MPD、Heater、MZI、光波導及激光器等。測試項目涵蓋耦合損耗、調制效率、傳輸損耗、帶寬、電阻、暗電流、響應度、眼圖、模斑等參數測試,支持批量篩選與定制化方案;同時具備HTOL、HTRB、THB等老煉及可靠性驗證能力。作為工信部“面向集成電路、芯片產業的公共服務平臺",廣電計量是國內完成激光發射器、探測器全套AEC-Q102車規認證的前沿第三方檢測機構,可依據GR-468及客戶委托標準,提供從研發驗證到量產篩選的一站式技術支撐。

服務背景

在半導體制造領域,材料表面納米級的化學污染、氧化及元素偏析問題,已成為影響器件電性能、可靠性和工藝穩定性的關鍵瓶頸。

主要應用包括:

·通過元素含量/價態對比封裝基板表面工藝處理效果

·通過元素含量/價態對比器件是否受到污染

材料成分分析的利器:X射線能譜(EDS)技術原理解析

測試案例

封裝基板通過不同plasma處理方式后表面元素對比

材料成分分析的利器:X射線能譜(EDS)技術原理解析

正常線纜與失效線纜元素對比

材料成分分析的利器:X射線能譜(EDS)技術原理解析


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